Dissertação
Desenvolvimento de um microscópio confocal de varredura laser para caracterização topográfica de superfícies
Development of a microscope confocal scanning laser surface characterization of surveying
Registro en:
Autor
Oliveira, André Rezende de Figueiredo
Institución
Resumen
The objective of this is study is to develop a laser scanning confocal microscope,
achieving submicron resolution in order to characterize surface topography. The laser
scanned images are drawn point-by-point using control software.
Comparing with other techniques of topographical characterization of surfaces: Laser
Interferometer and Atomic Force Microscopy, the prototype showed a satisfactory
performance. Confocal microscopy makes use of an optical technique that enhances
contrast and builds three dimensional images by means of a pinhole. For the construction of
a confocal image, a laser beam moves point-by-point and line-by-line on the sample surface.
The device developed proved to be an appropriate a tool with adequate resolution to assess
surfaces. The results are consistent with the best resolutions available, and the technique
has potenctial to be employed in several research projects. Fundação de Amparo a Pesquisa do Estado de Minas Gerais Mestre em Engenharia Mecânica Este trabalho tem como objetivo desenvolver uma técnica de caracterização
topográfica de superfícies. Desta forma, foi desenvolvido um Microscópio Óptico Confocal
de Varredura Laser, alcançando resolução submicrométrica. A amostra é varrida por laser e
sua imagem é virtualmente montada ponto a ponto pela detecção da intensidade da reflexão
da luz na superfície da amostra. A técnica confocal se caracteriza pela utilização de uma
abertura circular no caminho óptico, este tem a função de eliminar a luz refletida que esteja
fora do plano focal.
Em comparações com outras técnicas de caracterização topográficas de superfícies:
Interferometria Laser e Microscopia de Força Atômica, o protótipo desenvolvido mostrou um
desempenho satisfatório. Os resultados com relação à resolução óptica são compatíveis
com os melhores equipamentos disponíveis no mercado, resolvendo claramente padrões de
0,4 μm entre linhas. A técnica demonstra empregabilidade ilimitada em processos de
pesquisa, bem como bons resultados em níveis tanto qualitativos quanto quantitativos.
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