Disserta????o
Obtencao e caracterizacao de revestimentos compostos de multicamadas TiOsub(2)/TiN
Obtention and characterization of TiO2/TiN multilayers coatings
Registro en:
10.11606/D.85.2010.tde-03082011-085121
Autor
GONCALVES, ANDRE
Resumen
A nanoci??ncia emergiu nos ??ltimos anos como uma das ??reas mais importantes para os futuros desenvolvimentos tecnol??gicos, especialmente na ??rea de dispositivos eletr??nicos. A nanotecnologia tem um car??ter primordialmente interdisciplinar, que engloba conhecimentos de f??sica, qu??mica, engenharias e biologia. Essa tecnologia est?? sendo usada da fabrica????o de microprocessadores, bombas dosadoras de f??rmacos e revestimentos em materiais, entre outras aplica????es. Revestimentos nanocristalinos v??m sendo obtidos por meio da t??cnica MOCVD (deposi????o qu??mica de organomet??licos em fase vapor), e tem proporcionado a obten????o de filmes de melhor qualidade que os obtidos por CVD convencional ou por m??todos f??sicos. Al??m disso, a t??cnica MOCVD apresenta-se como uma alternativa competitiva porque ?? relativamente barata e mais f??cil de ser implantada, em rela????o aos m??todos de deposi????o f??sica. Neste trabalho foram obtidos revestimentos compostos por multicamadas de TiO2/TiN. Durante o experimento, a abertura e o fechamento das v??lvulas de admiss??o dos gases exige do operador habilidade manual para acionar a v??lvula e controlar o tempo de deposi????o, o que gera possibilidade de erros, implicando diretamente na espessura de cada camada. Assim, a necessidade de diminuir a influ??ncia do operador e poder utilizar intervalos de tempo menores que um minuto para os crescimentos, gerou a oportunidade de criar um programa de computador para gerenciar todo o sistema. Tal programa foi desenvolvido utilizando-se o conceito de M??quina de Estados para o controle de processo e simula????o Hardware in the loop. Dissertacao (Mestrado) IPEN/D Instituto de Pesquisas Energeticas e Nucleares - IPEN-CNEN/SP