The present work consisted in the study of the modification of the synthetic, natural and mixed fabric surface by hexamethyldisiloxane (HMDSO) plasma and HMDSO combined with carbon dioxide (CO2) plasma. The treatments were performed by the chemical vapor deposition technique (PECVD). The techniques used in the characterization of the films were: scanning electron microscopy (SEM), atomic force microscopy (AFM), Fourier transform infrared spectroscopy (FTIR), contact angle measurements, thermogravimentric analysis (TGA) and visual tests of flammability. The different treatments performed by HMDSO and HMDSO combined with CO2 plasma changed the surface of the fabrics, making them hydrophobic, with contact angles bigger than 100o . Plasma treatment of HMDSO generated a film with granules in nanometric dimensions, presenting a single phase, whereas plasma treatment of HMDSO combined with CO2 resulted in a film with even smaller granules, presenting two distinct phases. The fabrics treated by HMDSO and HMDSO combined with CO2 plasm showed higher flame resistance than untreated tissues.O presente trabalho consistiu no estudo da modificação da superfície de tecidos sintético, natural e misto por plasma de hexametildissiloxano (HMDSO) e hexametildissiloxano (HMDSO) combinado com gás carbônico (CO2). O tratamento dos tecidos foi realizado pela técnica de deposição química em fase vapor (PECVD). As técnicas usadas na caracterização dos filmes foram: microscopia eletrônica de varredura (MEV), microscopia de força atômica (AFM), espectroscopia no infravermelho por transformada de Fourier (FTIR), medidas de ângulo de contato, análise termográfica (TGA) e testes visuais de inflamabilidade. Os diferentes tratamentos realizados por plasma de HMDSO e HMDSO combinado com CO2 tornaram a superfície dos tecidos hidrofóbica apresentando ângulos de contato maiores que 100o . O tratamento por plasma de HMDSO gerou um filme com grânulos em dimensões manométricas, apresentando uma única fase, enquanto que o tratamento por plasma de HMDSO combinado com CO2 resultou em um filme com grânulos ainda menores, apresentando duas fases distintas. Os tecidos tratados com plasma de HMDSO e HMDSO combinado com CO2 apresentaram maior resistência à chama que os tecidos não tratado.