Estudio de las propiedades ópticas, estructurales y microestructurales de películas delgadas de SINx crecidas a temperatura ambiente mediante pulverización catódica asistida por radiofrecuencia

dc.contributorRodríguez Gómez, Arturo
dc.creatorBarrera Mendivelso, Edwin Sebastián
dc.date.accessioned2023-06-23T08:04:59Z
dc.date.available2023-06-23T08:04:59Z
dc.date.issued2023
dc.identifierhttps://ru.dgb.unam.mx/handle/DGB_UNAM/TES01000836014
dc.identifierhttp://132.248.9.195/ptd2023/marzo/0836014/Index.html
dc.identifier.urihttps://repositorioslatinoamericanos.uchile.cl/handle/2250/6833220
dc.languagespa
dc.rightshttp://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0
dc.rightsAcceso en línea sin restricciones
dc.titleEstudio de las propiedades ópticas, estructurales y microestructurales de películas delgadas de SINx crecidas a temperatura ambiente mediante pulverización catódica asistida por radiofrecuencia
dc.typeTesis de maestría
dc.typepublishedVersion


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