CALENTADOR DE SUSTRATOS DE BAJO COSTO PARA TRATAMIENTO IN-SITU DE PELICULAS DELGADAS DEPOSITADAS POR RF-SPUTTERING

dc.date.accessioned2013-01-16T08:53:03Z
dc.date.available2013-01-16T08:53:03Z
dc.date.created2013-01-16T08:53:03Z
dc.date.issued2013-01-16
dc.identifierhttp://www.repositoriodigital.ipn.mx/handle/123456789/10662
dc.publisherSociedad Mexicana de Fisica
dc.subjectCalentador
dc.subjectVacio
dc.titleCALENTADOR DE SUSTRATOS DE BAJO COSTO PARA TRATAMIENTO IN-SITU DE PELICULAS DELGADAS DEPOSITADAS POR RF-SPUTTERING
dc.typeArticle


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