Litograf a de rayado con el AFM

dc.contributorRueda Morales, Gabriela
dc.creatorMeza Escamilla, Alba
dc.date.accessioned2012-07-27T06:06:01Z
dc.date.available2012-07-27T06:06:01Z
dc.date.created2012-07-27T06:06:01Z
dc.date.issued2012-07-27
dc.identifierhttp://www.repositoriodigital.ipn.mx/handle/123456789/5913
dc.description.abstractEl objetivo de éste trabajo es desarrollar una técnica de litografía de rayado con un Microscopio de Fuerza Atómica (MFA) convencional el cual no incluye accesorios, ni software de litografía; es de la marca Park Scientific Instruments Autoprobe CP. Para que sirva como base para posteriormente desarrollar dispositivos electrónicos nanométricos.
dc.languagees
dc.relationTesis 2007;21
dc.subjectLitografía rayado AFM
dc.titleLitograf a de rayado con el AFM
dc.typeThesis


Este ítem pertenece a la siguiente institución