Artículos de revistas
Diseño de una superficie cónica en silicio cristalino
Autor
Calleja A., W.
Gracia Temich, F.
Pérez R., R.
Renero Carrillo, F.
Rojas H., A. G.
Totolhua Paleta, O.
Institución
Resumen
Presentamos el diseño de fabricación de una superficie cónica con K =-6.5. En un sustrato de silicio monocristalino, tomando como base la técnica de grabado anisotropico con KOH. La superficie cónica es aproximada mediante ventanas esféricas. Comparaciones entre diámetro y separación de las ventanas esféricas, así como los parámetros que rigen la elección son discutidos. A fabrication design of a conic surface (K = -6:5), in monocrystalline silicon substrate and based on anisotropic etching with KOH, is presented. The conical surface is approximated by means of spherical windows; comparisons between diameter and separation of the spherical windows, as well as the parameters that govern the selection are discussed.