Structural and morphological properties of tio2thin films prepared by spray pyrolysis

dc.creatorCASTILLO , N.
dc.creatorCONDE GALLARDO, A.
dc.creatorJIMÉNEZ SANDOVAL, S.
dc.creatorOLGUÍN , D.
dc.date2009-10-05
dc.date.accessioned2018-03-16T15:42:06Z
dc.date.available2018-03-16T15:42:06Z
dc.identifierhttp://ojs.unam.mx/index.php/rmf/article/view/14009
dc.identifier.urihttp://repositorioslatinoamericanos.uchile.cl/handle/2250/1201688
dc.descriptionEN EL PRESENTE TRABAJO LA TÉCNICA DE ROCÍO PIROLÍTICO FUE EMPLEADA PARA PRODUCIR PELÍCULAS DELGADAS DE TIO2 SOBRE SUBSTRATOS DE CUARZO Y SILICIO CRISTALINO (SI). GENERADO POR ULTRASONIDO, UN AEROSOL DE DI-ISOPROPOXIDO DE TITANIO FUE USADO COMO PRECURSOR EN LOS DEPÓSITOS. EL PROCESO DE CRISTALIZACIÓN COMO FUNCIÓN DE LOS PARÁMETROS DE DEPOSITO FUE ESTUDIADO POR DIFRACCIÓN DE RAYOS-X (XRD), ESPECTROSCOPIA RAMA (RS), MICROSCOPIA DE FUERZA ATÓMICA (AFM) Y ESPECTROSCOPIA OPTICA DE TRANSMISIÓN (TS). LOS RESULTADOS DEMUESTRAN QUE LA TÉCNICA DE ROCÍO PIROLITICO PUEDE PRODUCIR PELÍCULAS CON SUPERFICIES PLANAS Y BUENAS PROPIEDADES CRISTALINAS. CUANDO LA TEMPERATURA DE DEPOSITO ES MENOR A 400?C, LA PELÍCULA CRECE CON UNA SUPERFICIE SUAVE (RUGOSIDAD 5 A) PERO EN UNA FASE AMORFA; SIN EMBARGO A TEMPERATURAS IGUALES A 400?C O MAYORES LAS PELÍCULAS CRISTALIZAN EN LA FASE ANATASA AUN CUANDO LA RUGOSIDAD SE INCREMENTA HASTA UN VALOR QUE DEPENDE DEL ESPESOR. DESPUÉS DE UN TRATAMIENTO TÉRMICO A 750?C, LAS MUESTRAS DEPOSITADAS SOBRE SI MUESTRAN UNA TRANSICIÓN PARCIAL A LA FASE RUTILIO DEL TIO2CON ORIENTACIÓN PREFERENCIAL (111); SIN EMBARGO, LAS PELÍCULAS DEPOSITADAS SOBRE CUARZO NO MUESTRAN TAL TRANSICIÓN.AbstractIN THE PRESENT WORK THE ULTRASONIC SPRAY PYROLYSIS TECHNIQUE WAS EMPLOYED TO PRODUCE TIO2 THIN FILMS ON FUSED QUARTZ AND ON SILICON SUBSTRATES. AN AEROSOL, GENERATED ULTRASONICALLY, OF TITANIUM DIISOPROPOXIDE WAS EMPLOYED IN THE DEPOSITION EXPERIMENTS. THE CRYSTALLIZATION PROCESS OF THE AS DEPOSITED SAMPLES WAS STUDIED BY X-RAY DIFRACTION (XRD), RAMAN SPECTROSCOPY (RS), ATOMIC FORCE MICROSCOPY (AFM), AND OPTICAL TRANSMISSION SPECTROSCOPIES (TS). THE RESULTS SHOW THAT SPRAY PYROLYSIS TECHNIQUE IS ABLE TO PRODUCE FILMS WITH SMOOTH SURFACE AND GOOD CRYSTALLINE PROPERTIES. WHEN DEPOSITION TEMPERATURES WERE BELOW 400—¦C, THE FILMS GROW WITH A FLAT SURFACE (ROUGHNESS 5 A) BUT IN AMORPHOUS PHASE; WHILE FOR EQUAL OR HIGHER VALUES TO THIS TEMPERATURE,es-ES
dc.descriptionIN THE PRESENT WORK THE ULTRASONIC SPRAY PYROLYSIS TECHNIQUE WAS EMPLOYED TO PRODUCE TIO2 THIN FILMS ON FUSED QUARTZ AND ON SILICON SUBSTRATES. AN AEROSOL, GENERATED ULTRASONICALLY, OF TITANIUM DIISOPROPOXIDE WAS EMPLOYED IN THE DEPOSITION EXPERIMENTS. THE CRYSTALLIZATION PROCESS OF THE AS DEPOSITED SAMPLES WAS STUDIED BY X-RAY DIFRACTION (XRD), RAMAN SPECTROSCOPY (RS), ATOMIC FORCE MICROSCOPY (AFM), AND OPTICAL TRANSMISSION SPECTROSCOPIES (TS). THE RESULTS SHOW THAT SPRAY PYROLYSIS TECHNIQUE IS ABLE TO PRODUCE FILMS WITH SMOOTH SURFACE AND GOOD CRYSTALLINE PROPERTIES. WHEN DEPOSITION TEMPERATURES WERE BELOW 400€”¦C, THE FILMS GROW WITH A FLAT SURFACE (ROUGHNESS 5 A) BUT IN AMORPHOUS PHASE; WHILE FOR EQUAL OR HIGHER VALUES TO THIS TEMPERATURE,en-US
dc.formatapplication/pdf
dc.languagespa
dc.publisherRevista Mexicana de Físicaes-ES
dc.relationhttp://ojs.unam.mx/index.php/rmf/article/view/14009/13346
dc.sourceRevista Mexicana de Física; Vol 50, No 004 (2004)es-ES
dc.subjectDEPOSITO EN FASE VAPOR; ROCIO PIROLITICO; PELICULAS DE TIO2es-ES
dc.subjectCHEMICAL VAPOR DEPOSITION; SPRAY PYROLYSIS; TIO2THIN FILMSen-US
dc.titleStructural and morphological properties of tio2thin films prepared by spray pyrolysises-ES
dc.typeArtículos de revistas
dc.typeArtículos de revistas


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