Caracterizaco de filmes de nitreto de titanio obtidos por MOCVD

dc.creatorFRANCO, A.C.
dc.creatorARAUJO, E.G. de
dc.creatorSACILOTTI, M.
dc.creatorCONGRESSO BRASILEIRO DE CERAMICA, 53.
dc.date2014-11-17T18:22:13Z
dc.date2014-11-18T18:30:17Z
dc.date2015-04-02T00:32:35Z
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dc.date7-10 de junho, 2009
dc.date.accessioned2023-09-28T13:08:16Z
dc.date.available2023-09-28T13:08:16Z
dc.identifierhttp://repositorio.ipen.br/handle/123456789/16683
dc.identifier.urihttps://repositorioslatinoamericanos.uchile.cl/handle/2250/8989634
dc.rightsopenAccess
dc.subjectfilms
dc.subjecttitanium nitrides
dc.subjectchemical vapor deposition
dc.subjectcoatings
dc.subjectscanning electron microscopy
dc.subjectx-ray diffraction
dc.titleCaracterizaco de filmes de nitreto de titanio obtidos por MOCVD
dc.typeTexto completo de evento
dc.coverageN


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