| dc.contributor | MARIO MORENO MORENO | |
| dc.contributor | ALFONSO TORRES JACOME | |
| dc.creator | RICARDO JIMENEZ ZAVALA | |
| dc.date | 2013-02 | |
| dc.date.accessioned | 2023-07-25T16:21:13Z | |
| dc.date.available | 2023-07-25T16:21:13Z | |
| dc.identifier | http://inaoe.repositorioinstitucional.mx/jspui/handle/1009/264 | |
| dc.identifier.uri | https://repositorioslatinoamericanos.uchile.cl/handle/2250/7805484 | |
| dc.description | Los sistemas de detección infrarroja son una tecnología clave en diversas
aplicaciones civiles y militares, especialmente en rastreo de objetivos, visión
nocturna, mantenimiento preventivo, etc.
A diferencia de los detectores infrarrojos de fotones que requieren
costosos dispositivos de enfriamiento, los sistemas basados en microbolómetros
pueden operar a temperatura ambiente. Esta característica les
brinda ventajas como un menor consumo de potencia, peso reducido y
volumen que finalmente resulta en un equipo de bajo costo.
En este trabajo se han fabricado y caracterizado micro-bolómetros con
área de 50x50 μm2. Se utilizaron películas termo-sensoras basadas en
germanio polimorfo, silicio polimorfo y sus aleaciones en estado polimorfo.
El proceso de fabricación fue realizado en el laboratorio de
microelectrónica y el laboratorio de innovación en MEMS (LIMEMS) del
INAOE. Se implementaron 16 diseños distintos de micro-bolómetros tipo
puente con el fin de evaluar el desempeño de los sensores bajo las
variaciones geométricas y la estabilidad mecánica al final del proceso de
fabricación.
Las películas termo-sensoras y estructurales fueron preparadas por
medio de la técnica Low Frequency Plasma Enhanced Chemical Vapor
Deposition (LF-PECVD) a 200 °C, lo cual permite obtener una total
compatibilidad con un post-proceso CMOS. Se emplearon 8 películas termosensoras
con un elevado Coeficiente Térmico de Resistencia (TCR), que
resultaron en sensores con una detectividad en el rango de 107-109
cm·Hz1/2/W y resistencias eléctricas del orden de 1 MΩ. | |
| dc.format | application/pdf | |
| dc.language | spa | |
| dc.publisher | Instituto Nacional de Astrofísica, Óptica y Electrónica | |
| dc.relation | citation:Jimenez-Zavala R. | |
| dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | |
| dc.rights | http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0 | |
| dc.subject | info:eu-repo/classification/Bolómetro/Bolometer | |
| dc.subject | info:eu-repo/classification/Aleaciones de silicio-germanio/Silicon-germanium alloys | |
| dc.subject | info:eu-repo/classification/Depósito químico de plasma por vapor/Plasma chemical vapour deposition | |
| dc.subject | info:eu-repo/classification/cti/1 | |
| dc.subject | info:eu-repo/classification/cti/22 | |
| dc.subject | info:eu-repo/classification/cti/2203 | |
| dc.subject | info:eu-repo/classification/cti/2203 | |
| dc.title | Desarrollo de micro-bolómetros no enfriados basados en Silicio y Germanio Polimorfo | |
| dc.type | info:eu-repo/semantics/masterThesis | |
| dc.type | info:eu-repo/semantics/acceptedVersion | |
| dc.audience | students | |
| dc.audience | researchers | |
| dc.audience | generalPublic | |
