| dc.contributor | WILFRIDO CALLEJA ARRIAGA | |
| dc.contributor | FRANCISCO JAVIER DE LA HIDALGA WADE | |
| dc.creator | FERNANDO JULIAN QUIÑONES NOVELO | |
| dc.date | 2014-06 | |
| dc.date.accessioned | 2023-07-25T16:21:00Z | |
| dc.date.available | 2023-07-25T16:21:00Z | |
| dc.identifier | http://inaoe.repositorioinstitucional.mx/jspui/handle/1009/153 | |
| dc.identifier.uri | https://repositorioslatinoamericanos.uchile.cl/handle/2250/7805375 | |
| dc.description | Con el propósito de fabricar Sistemas Micro Electro Mecánicos (MEMS, por sus siglas en inglés) de alta calidad y de alto rendimiento, es de suma importancia controlar y cuantificar, las principales propiedades físicas de los materiales que intervienen en éstos dispositivos. En general, cualquier tipo de micro actuador o sensor aprovecha un efecto físico para funcionar.
Durante el diseño de un dispositivo MEMS, lo que se busca es optimizar el desempeño del sensor/actuador; maximizando los efectos físicos que aprovecha dicha estructura. Los efectos físicos comúnmente utilizados son: Efecto electrostático, magnético, electro-térmico, piezoeléctrico y piezoresistivo. A su vez, estos efectos físicos, son consecuencia de las propiedades físicas del material; como por ejemplo: la resistividad eléctrica (ρe), coeficiente de expansión térmica lineal (CTE), conductividad térmica (κ), calor especifico (Cp), módulo de elasticidad (E) y la densidad de material(ρ).
La presente tesis presenta el diseño y el proceso de fabricación del Chip llamado PolyMEMS VII; que permite medir las propiedades termo-mecánicas en películas de Polysilicio. Se propone un esquema de medición confiable, sencillo y de bajo costo para la caracterización mecánica. Así mismo se reporta la caracterización mecánica de las siguientes propiedades: Módulo de Young (E), esfuerzo residual de tensión-compresión mecánica (±σ), gradiente de esfuerzo residual mecánico (±Δε). | |
| dc.format | application/pdf | |
| dc.language | spa | |
| dc.publisher | Instituto Nacional de Astrofísica, Óptica y Electrónica | |
| dc.relation | citation:Quiñones-Novelo F.J. | |
| dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | |
| dc.rights | http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0 | |
| dc.subject | info:eu-repo/classification/MEMS/MEMS | |
| dc.subject | info:eu-repo/classification/Microcantilevers/Microcantilevers | |
| dc.subject | info:eu-repo/classification/Dispositivos micromecánicos/Micromechanical devices | |
| dc.subject | info:eu-repo/classification/Microsensores/Microsensors | |
| dc.subject | info:eu-repo/classification/El módulo de Young/Young's modulus | |
| dc.subject | info:eu-repo/classification/cti/1 | |
| dc.subject | info:eu-repo/classification/cti/22 | |
| dc.subject | info:eu-repo/classification/cti/2203 | |
| dc.subject | info:eu-repo/classification/cti/2203 | |
| dc.title | Estudio de las propiedades termo mecánicas del Polisilicio para su aplicación en sensores inteligentes | |
| dc.type | info:eu-repo/semantics/doctoralThesis | |
| dc.type | info:eu-repo/semantics/acceptedVersion | |
| dc.audience | students | |
| dc.audience | researchers | |
| dc.audience | generalPublic | |
