Trasducción de energía electromagnética con tecnología CMOS

dc.contributorManuel Bandala Sánchez
dc.creatorSALATIEL GARCIA MORENO
dc.date2020-05
dc.date.accessioned2023-07-21T16:23:48Z
dc.date.available2023-07-21T16:23:48Z
dc.identifierhttp://cidesi.repositorioinstitucional.mx/jspui/handle/1024/453
dc.identifier.urihttps://repositorioslatinoamericanos.uchile.cl/handle/2250/7730432
dc.descriptionEsta tesis presenta el diseño, modelado analítico y simulación de un micromotor electrostático basado en tecnología MEMS. Los micromotores electristáticos existentes conllevan obstáculos que son inherentes a su geometría o proceso de fabricación, en algunos de ellos la potencia generada no es suficiente para poder ser aprovechada, otros son inestables o su proceso de fabricación es demasiado complejo. En cambio, la geometría propuesta es capaz de generar un nivel de fuerza electróstatica utilizable en microsistemas y además, no es necesarion ningún tipo de ensamble o postproceso para obtener un prototipo estable.
dc.formatapplication/pdf
dc.languagespa
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccess
dc.rightshttp://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0
dc.subjectinfo:eu-repo/classification/MIC-Microelectrónica/MICROMOTOR- CAPACITANCIA VARIABLE
dc.subjectinfo:eu-repo/classification/cti/7
dc.subjectinfo:eu-repo/classification/cti/33
dc.subjectinfo:eu-repo/classification/cti/3307
dc.subjectinfo:eu-repo/classification/cti/330790
dc.subjectinfo:eu-repo/classification/cti/330790
dc.titleTrasducción de energía electromagnética con tecnología CMOS
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/doctoralThesis
dc.coverageMX
dc.audienceresearchers
dc.audiencegeneralPublic


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