[en] PRODUCTION AND CHARACTERIZATION OF HYDROGENATED AMORPHOUS CARBON THIN FILMS DEPOSITED IN METHANE PLASMAS DILUTED BY NOBLE GASES

[pt] PRODUÇÃO E CARACTERIZAÇÃO DE FILMES FINOS DE CARBONO AMORFO HIDROGENADO DEPOSITADOS EM PLASMAS DE METANO DILUÍDOS POR GASES NOBRES

dc.creatorGIL CAPOTE RODRIGUEZ
dc.date.accessioned2022-09-21T21:42:02Z
dc.date.accessioned2023-03-13T22:07:42Z
dc.date.available2022-09-21T21:42:02Z
dc.date.available2023-03-13T22:07:42Z
dc.date.created2022-09-21T21:42:02Z
dc.identifierhttps://hdl.handle.net/20.500.12032/42312
dc.identifier.urihttps://repositorioslatinoamericanos.uchile.cl/handle/2250/6190567
dc.publisherMAXWELL
dc.subject[pt] PROPRIEDADES MECANICAS
dc.subject[pt] METANO
dc.subject[pt] PLASMA
dc.subject[pt] FILMES FINOS
dc.subject[pt] CARBONO
dc.subject[pt] MICROESTRUTURA
dc.subject[en] MECHANICAL PROPERTIES
dc.subject[en] METHANE
dc.subject[en] PLASMA
dc.subject[en] THIN FILMS
dc.subject[en] CARBON
dc.subject[en] MICROSTRUCTURE
dc.title[en] PRODUCTION AND CHARACTERIZATION OF HYDROGENATED AMORPHOUS CARBON THIN FILMS DEPOSITED IN METHANE PLASMAS DILUTED BY NOBLE GASES
dc.title[pt] PRODUÇÃO E CARACTERIZAÇÃO DE FILMES FINOS DE CARBONO AMORFO HIDROGENADO DEPOSITADOS EM PLASMAS DE METANO DILUÍDOS POR GASES NOBRES
dc.typeTEXTO


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