| dc.creator | Scarioni, Luciana | |
| dc.date | 2011-05-13 | |
| dc.date.accessioned | 2022-11-04T23:04:23Z | |
| dc.date.available | 2022-11-04T23:04:23Z | |
| dc.identifier | https://produccioncientificaluz.org/index.php/ciencia/article/view/9850 | |
| dc.identifier.uri | https://repositorioslatinoamericanos.uchile.cl/handle/2250/5129631 | |
| dc.description | En este trabajo se presenta el diseño y la fabricación de un conversor térmico para la transferencia ac-dc a altas frecuencias utilizando cuarzo monocristalino como material para la membrana y el chip. Este nuevo conversor está siendo utilizado como patrón para la medición de diferencias ac-dc transfer en el rango de 100 kHz a 1 MHz. La ventana con la membrana fue anisotrópicamente grabada en el chip de cuarzo con soluciones de HF y NH4F en proporción 2:3 y mantenida a una temperatura constante de 60 °C en un beaker de teflón. La estructura bifilar del calefactor y los termoelementos fueron fabricados utilizando técnicas fotolitográficas. Los conversores térmicos fabricados muestran una diferencia ac-dc por debajo de 5 µV/V en el rango de frecuencia de 100 kHz a 1 MHz, para resistencias del calefactor de 1 kW. Esta es una reducción de más de un orden de magnitud de la diferencia ac-dc transfer en comparación con el conversor térmico fabricado sobre una membrana de Si3N4/SiO2/Si3N4 y chip de silicio. Este nuevo conversor térmico sobre membrana y sustrato de cuarzo permite disminuir la incertidumbre estándar a 3 µV/V en el rango de frecuencia de 100 kHz a 500 kHz, y a 4 µV/V para 700 kHz a 1 MHz. | es-ES |
| dc.format | application/pdf | |
| dc.language | spa | |
| dc.publisher | Facultad Experimental de Ciencias de la Universidad del Zulia | es-ES |
| dc.relation | https://produccioncientificaluz.org/index.php/ciencia/article/view/9850/9837 | |
| dc.rights | Derechos de autor 2016 Ciencia | es-ES |
| dc.source | Ciencia; Vol. 16 Núm. 2 | es-ES |
| dc.source | 1315-2076 | |
| dc.subject | cuarzo | es-ES |
| dc.subject | conversor térmico | es-ES |
| dc.subject | transferencia ac-dc | es-ES |
| dc.title | Micromecánica del cuarzo y su aplicación a un conversor térmico de multiuniones de películas delgadas | es-ES |
| dc.type | info:eu-repo/semantics/article | |
| dc.type | info:eu-repo/semantics/publishedVersion | |
