Estudio de sistemas de micro y nano fabricación procesos de micro mecanizado mecánico

dc.contributorPlazas, Sergio
dc.creatorEspinosa Díaz, David Ricardo
dc.creatorRiveros Cruz, Diego Alexander
dc.date2021-10-29T19:07:03Z
dc.date2021-10-29T19:07:03Z
dc.date2015
dc.date.accessioned2022-09-22T12:35:34Z
dc.date.available2022-09-22T12:35:34Z
dc.identifierhttps://repositorio.ecci.edu.co/handle/001/1871
dc.identifier.urihttp://repositorioslatinoamericanos.uchile.cl/handle/2250/3422744
dc.descriptionUna visión general de las técnicas de micromecanizado de superficie donde se describen las principales aplicaciones. La tecnología de capa de sacrificio para la fabricación de estructuras de película delgada (por ejemplo, de polisilicio) bajo el grabado lateral de una capa independiente de sacrificio subyacente (por ejemplo, dióxido de silicio) se discute en detalle. Otro enfoque tecnológico utiliza la combinación de medidas estándar de procesamiento de IC con grabado de cristal de orientación dependiente de la superficie del sustrato de silicio para la construcción de microestructuras multicapa exentas. Una tercera superficie de micromecanizado se basa en la técnica de grabado de plasma isotrópico del silicio sustrato para la realización de estructuras micromecánicas en la superficie 33 de la oblea. lA particularidad común de las estructuras micromecánicas fabricadas por ellos, tres técnicas es la viabilidad de su integración con componentes de CI en la mismo chip El estado de la técnica de microestructuras realizadas por la tecnología de capa de sacrificio se ilustra mediante varios ejemplos, tales como actuadores de peine. micromotores. interruptores, resonadores y microcavidades.
dc.description1. PRELIMINARES 1.1. EL PROBLEMA DE INVESTIGACIÓN 1.1.1. Descripción del problema 1.1.2. Formulación del problema 1.2. OBJETIVOS 1.2.1. Objetivo general 1.2.2. Objetivos específicos 1.3. JUSTIFICACIÓN Y DELIMITACIÓN DE LA INVESTIGACIÓN 1.3.1. Justificación 1.3.2. Delimitación 1.4 diseño metodologico 2. MARCO REFERENCIAL 2.1. Marco histórico 2.1.1. Origenes conceptuales 2.1.2. E. Erik Drexler 2.1.3. Norio Taniguchi 2.1.4. Avances experimentales 2.1.5. Invencion del microscopio del efecto tunel 2.1.6. Avances en ciencias interfaciales y de coloides 2.2. Marco teórico 2.2.1. Mecanizado sin arranque de viruta 2.2.2. Mecanizado por abrasión 2.2.3. Mecanizado por arranque de viruta 2.2.4. Movimientos de corte 2.2.5. Mecanizado manual 2.2.6. Mecanizado con máquina-herramienta 2.3. MICROMECANIZADO EN LATINOAMERICA Y COLOMBIA 2.3.1. Contribuciones regionales al desarrollo de la Nanotecnología 2.3.2. Investigadores Destacados 2.3.3. Por qué el futuro no nos necesita 2.3.4. Reporte de la Royal Society sobre las implicaciones de la nanotecnología 2.3.5. Aplicaciones comerciales iniciales 3. RESULTADOS 3.1. MICROMAQUINADO SUPERFICIE (SURFACE MICROMACHINING)AUTORES: C LINDER, L PARATTE, M-A GRETILLAT, V P JAECKLIN AND N F DE ROOIJ 3.1.1. INTRODUCCIÓN 3 3.1.2. Las técnicas para microestructuras superficiales 3.1.3. Tecnología de capa de sacrificio 3.1.4. Micromecanizado en superficie 3.1.5. Grabado por plasma isotrópico 3.1.6. Aplicaciones 3.1.7. Motores paso a paso electrostáticos integrados 3.1.8. Interruptores electromecánicos 3.1.9. Resonadores con excitación y detección integrada 3.2 MICROMAQUINADO SUPERFICIE (SURFACE MICROMACHINING).AUTOR: ROBERT BOSCH GMBH 3.2.1. Micromaquinado base de silicio policristalino 3.2.2. Capa de sacrificio 3.2.3. Superficie micromaquinado aplicación-acelerómetro 3.2.4. Conceptos de integración 3.2.5. Giroscopios 3.2.6. Propiedades importantes de metales en aplicaciones mems 3.2.7. Coeficiente de expansión térmica 3.2.8. Tecnología 3.2.9. Campos de aplicación 3.3. MICROFRESADO DE POLIMEROS BIOCOMPATIBLES (POLYMER MICRO-MILLING BIOCOMPATIBLES).autor: CHRISTINA LEINENBACH HANNU KATTELUS ROY KNECHTEL 3.3.1. Resumen 3.3.2. Introducción 3.3.3. Clasificación general de las técnicas de microfabricación 3.3.4. Micromecanizado (microfresado) 3.3.5. Metodología 3.3.6. Proceso de microfresado 3.3.7. Ajuste de parámetros de corte 3.3.8. Resultados 3.3.9. Microherramientas 4. ANALISIS, CONCLUSIONES Y RECOMENDACIONES REFERENCIAS
dc.descriptionPregrado
dc.descriptionTecnólogo en Mecánica Industrial
dc.descriptionTecnología en Mecánica Industrial
dc.format87 p.
dc.formatapplication/pdf
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dc.formatapplication/pdf
dc.languagespa
dc.publisherUniversidad ECCI
dc.publisherColombia
dc.publisherFacultad de Ingenierías
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dc.rightsDerechos Reservados - Universidad ECCI, 2015
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccess
dc.rightshttp://purl.org/coar/access_right/c_abf2
dc.subjectFabricación
dc.subjectMatriz polimérica
dc.subjectMicromecanizado
dc.subjectManufacturing
dc.subjectPolymer matrix
dc.subjectMicromachining
dc.titleEstudio de sistemas de micro y nano fabricación procesos de micro mecanizado mecánico
dc.typeTrabajo de grado - Pregrado
dc.typehttp://purl.org/coar/resource_type/c_7a1f
dc.typeText
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/bachelorThesis
dc.typehttps://purl.org/redcol/resource_type/TP
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/updatedVersion
dc.typehttp://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85


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