"En el presente trabajo, se describe el principio físico del funcionamiento y las aplicaciones de un par de arreglos ópticos interferométricos basados en la heterodinización de haces Gaussianos, así como su utilidad para medir la rugosidad de superficies ópticas en áreas microscópicas. En estos arreglos, uno de los haces es utilizado como haz de prueba, el cual es enfocado y reflejado por la superficie que se desea medir mientras que un segundo haz interfiere con el primero e introduce una señal variante en el tiempo. La modulación del haz de luz se obtiene al ser transmitido a través de una celda de Bragg, la cual consiste de un medio acusto-óptico de dióxido de telurio (TeO2) excitado a 80 MHz, donde los órdenes de difracción cero y uno son utilizados. En uno de los instrumentos descritos, un tercer haz es obtenido a partir del orden cero de la celda de Bragg y se utiliza como haz de referencia, para que la información de la intensidad de los haces involucrados detectada, sea proporcional a las variaciones verticales locales de la superficie bajo medición. Los haces son coherentemente superpuestos en el plano sensible de un fotodiodo que integra la intensidad total incidente y que convierte la señal óptica incidente en una señal eléctrica. La resolución vertical obtenida en ambos arreglos es similar, o inclusive mejor que en un interferómetro convencional de dos haces (≈ λ 100/ ) y la resolución lateral es cercana a λ , la longitud de onda de la fuente de iluminación obtenida a partir de un láser de He-Ne. Esto es gracias a que la señal bajo medición es separada de fuentes indeseables de ruido utilizando un detector de banda angosta. Puesto que los haces se heterodinizan, los interferómetros son capaces de perfilar superficies con una alta sensitividad vertical y bajo ruido. Mediciones de diferentes superficies de calidad óptica, que presentan reflectividad constante y se comportan como rejillas de difracción, son incluidas."