Fabricação e caracterização eletrica de ponteiras de emissão de campo recobertas com filme fino DLC (Diamond Like Carbon)

Fabrication and electrical characterization of field emission tips covered by DLC (Diamond Like Carbon) thin films

dc.creatorPorto, Lesnir Ferreira
dc.date2005
dc.date2005-12-20T00:00:00Z
dc.date2017-03-28T20:34:35Z
dc.date2017-07-13T19:55:03Z
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dc.date.accessioned2018-03-29T04:00:11Z
dc.date.available2018-03-29T04:00:11Z
dc.identifier(Broch.)
dc.identifierPORTO, Lesnir Ferreira. Fabricação e caracterização eletrica de ponteiras de emissão de campo recobertas com filme fino DLC (Diamond Like Carbon). 2005. 107p. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e Computação, Campinas, SP. Disponível em: <http://libdigi.unicamp.br/document/?code=vtls000377008>. Acesso em: 28 mar. 2017.
dc.identifierhttp://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/258906
dc.identifier.urihttp://repositorioslatinoamericanos.uchile.cl/handle/2250/1339442
dc.descriptionOrientador: Marco Antonio Robert Alves
dc.descriptionDissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e Computação
dc.descriptionResumo: Este trabalho de mestrado teve como objetivos a fabricação e o estudo do comportamento elétrico das ponteiras de silício de emissão de campo a vácuo (PECV) recobertas com filme fino de carbono tipo diamante (DLC). Apresentamos o processo de fabricação das ponteiras de silício que é realizado através das etapas de fotolitografia, corrosão por íon reativo no plasma de SF6 (hexafluoreto de enxofre), oxidação térmica seca para afinamento, e deposição do filme DLC por PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). Mostramos os resultados obtidos da caracterização elétrica das ponteiras sem o filme e com o filme DLC, através do levantamento das curvas características I x V (corrente x tensão) e I x t (corrente x tempo). Verificamos que as curvas I x V obedeceram ao modelo de emissão de elétrons de Fowler-Nordheim. Comparamos estes resultados a fim de avaliarmos as mudanças na tensão de limiar, corrente emitida, e estabilidade de emissão. Neste estudo fabricamos PECV recobertas por filme DLC com espessura de aproximadamente 170 Å
dc.descriptionAbstract: The objectives of this dissertation were the fabrication of silicon field emitter tips coated with diamond like carbon (DLC) thin films, and the study of its electrical behavior. We present the fabrication process of silicon tips that consists on four stages: photolithography, reactive ion etching SF6 plasma, thermal oxidation for sharpening, and the DLC deposition by PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). We show results obtained from the electrical characterization of tips without film and tips with DLC, by the characteristics curves I x V (current x voltage) and I x t (current x time). Current-voltage measurements followed a Fowler-Nordheim electron emission behavior. We compare these results to evaluate the change of the threshold voltage, emitted current, and emission stability, as a function of the coating with the film. In this study we fabricated silicon tips coated with DLC film with thickness of approximately 170 Å
dc.descriptionMestrado
dc.descriptionEletrônica, Microeletrônica e Optoeletrônica
dc.descriptionMestre em Engenharia Eletrica
dc.format107p. : il.
dc.formatapplication/pdf
dc.languagePortuguês
dc.publisher[s.n.]
dc.subjectMicroeletrônica
dc.subjectElétrons - Emissão
dc.subjectSilício
dc.subjectFilmes finos de diamantes
dc.subjectMedidas elétricas
dc.subjectVacuum microelectronics
dc.subjectField emission
dc.subjectSilicon tips
dc.subjectCarbon films
dc.subjectElectrical characterization
dc.titleFabricação e caracterização eletrica de ponteiras de emissão de campo recobertas com filme fino DLC (Diamond Like Carbon)
dc.titleFabrication and electrical characterization of field emission tips covered by DLC (Diamond Like Carbon) thin films
dc.typeTesis


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