Tesis
Implementação de um sistema LPCVD vertical para obtenção de filmes finos de silicio policristalino
Registro en:
(Broch.)
Autor
Teixeira, Ricardo Cotrin
Institución
Resumen
Orientador : Ioshiaki Doi Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica Mestrado