| dc.creator | Zambrozi Junior, Paulo | |
| dc.date | 2005 | |
| dc.date | 2005-08-26T00:00:00Z | |
| dc.date | 2017-03-28T18:55:33Z | |
| dc.date | 2017-07-13T19:48:44Z | |
| dc.date | 2017-03-28T18:55:33Z | |
| dc.date | 2017-07-13T19:48:44Z | |
| dc.date.accessioned | 2018-03-29T03:55:05Z | |
| dc.date.available | 2018-03-29T03:55:05Z | |
| dc.identifier | (Broch.) | |
| dc.identifier | ZAMBROZI JUNIOR, Paulo. Sensor de umidade microeletronico baseado em capacitor com dieletrico higroscopico. 2005. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação, Campinas, SP. Disponível em: <http://libdigi.unicamp.br/document/?code=vtls000374592>. Acesso em: 28 mar. 2017. | |
| dc.identifier | http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/258789 | |
| dc.identifier.uri | http://repositorioslatinoamericanos.uchile.cl/handle/2250/1338178 | |
| dc.description | Orientador: Fabiano Fruett | |
| dc.description | Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação | |
| dc.description | Resumo: Este trabalho mostra o desenvolvimento, fabricação e caracterização de um sensor de umidade microeletrônico, baseado em um capacitor com dielétrico higroscópico. O dielétrico higroscópico foi obtido através da deposição via LPCVD em reator vertical. Imagens AFM mostraram que esta técnica de deposição permitiu que a morfologia do filme fosse otimizada para seu emprego como material higroscópico. Um circuito conversor baseado na técnica do capacitor chaveado foi implementado para converter a variação da capacitância, do sensor de umidade, em variação de tensão. Resultados experimentais indicaram uma sensibilidade máxima de 23.3mV/%RH para RH variando de 15%RH até 70%RH | |
| dc.description | Abstract: This work present the development, fabrication and caractization of a microelectronic sensor, based on a capacitor with hygroscopic dielectric. The hygroscopic dieletric was obtained through LPCVD using a vertical reactor. Images obtained by Atomic Force Microscope ¿ AFM allowed to optimize the morphology of the hygroscopic dieletric. A circuit converter based on the switched-capacitor technique was implemented to convert the variation of the capacitance of the humidity sensor in voltage variation. Experimental results presented a maximum sensitivity of 23.3mV/%RH to RH ranging between 15%RH and 70%RH | |
| dc.description | Mestrado | |
| dc.description | Eletrônica, Microeletrônica e Optoeletrônica | |
| dc.description | Mestre em Engenharia Eletrica | |
| dc.format | application/pdf | |
| dc.language | Português | |
| dc.publisher | [s.n.] | |
| dc.subject | Detectores | |
| dc.subject | Higrometria | |
| dc.subject | Cristais de silício - Propriedades elétricas | |
| dc.subject | Amplificadores operacionais | |
| dc.title | Sensor de umidade microeletronico baseado em capacitor com dieletrico higroscopico | |
| dc.type | Tesis | |
