Contribuição ao estudo das propriedades dieletricas e mecanicas dos filmes finos de a-C:H, obtidos por PECVD

dc.creatorBalachova, Olga Viatcheslavovna
dc.date2001
dc.date2017-03-22T16:21:58Z
dc.date2017-07-13T19:43:36Z
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dc.date.accessioned2018-03-29T03:50:44Z
dc.date.available2018-03-29T03:50:44Z
dc.identifier(Broch.)
dc.identifierBALACHOVA, Olga Viatcheslavovna. Contribuição ao estudo das propriedades dieletricas e mecanicas dos filmes finos de a-C:H, obtidos por PECVD. 2001. 92p. Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.rau-tu.unicamp.br/nou-rau/sbu/document/?code=vtls000228130>. Acesso em: 22 mar. 2017.
dc.identifierhttp://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/260247
dc.identifier.urihttp://repositorioslatinoamericanos.uchile.cl/handle/2250/1337121
dc.descriptionOrientador : Edmundo da Silva Braga
dc.descriptionTese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação
dc.descriptionDoutorado
dc.format92p. : il.
dc.formatapplication/pdf
dc.languagePortuguês
dc.publisher[s.n.]
dc.subjectSemicondutores amorfos
dc.subjectFilmes finos de diamantes - Propriedades elétricas
dc.subjectMembranas (Tecnologia)
dc.subjectMedidas elétricas
dc.titleContribuição ao estudo das propriedades dieletricas e mecanicas dos filmes finos de a-C:H, obtidos por PECVD
dc.typeTesis


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