| dc.creator | Bueno Maria Izabel Maretti Sil | |
| dc.creator | Jesus Antenor Lopes De Jr | |
| dc.date | 2005-07-12 | |
| dc.date | 2015-02-09T18:28:58Z | |
| dc.date | 2015-02-09T18:28:58Z | |
| dc.date | 10/10/2003 | |
| dc.date.accessioned | 2018-03-28T20:27:56Z | |
| dc.date.available | 2018-03-28T20:27:56Z | |
| dc.identifier | http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/84425 | |
| dc.identifier.uri | http://repositorioslatinoamericanos.uchile.cl/handle/2250/1230321 | |
| dc.description | MEDIDA DE ESPESSURAS DE FILMES METÁLICOS ESPESSOS - QUE NÃO APRESENTAM MAIS CORRELAÇÃO ENTRE A INTENSIDADE DE RAIOS X E A ESPESSURA - UTILIZANDO ESPECTROMETRIA DE FLUORESCÊNCIA DE RAIOS X DE ENERGIA DISPERSIVA. A presente patente de invenção descreve o desenvolvimento de um método de medida de espessuras de filmes metálicos espessos (que não apresentam mais correlação entre a intensidade de raios X e a espessura do filme) utilizando Espectrometria de Fluorescência de Raios X (EDXRF). No método, o uso de anteparos metálicos sob os filmes garantiu a obtenção da medida da espessura, por meio da atenuação da linha de emissão do elemento constituinte do anteparo, sendo esta atenuação verificada pela EDXRF. O filme de alumínio foi o testado para a averiguação da exatidão e precisão do método proposto. Os anteparos utilizados foram de cobre e de chumbo. As medidas ocorreram em tempos menores que 100 segundos, mostrando que o método é rápido. Os valores encontrados de coeficientes de correlação das curvas analíticas obtidas mostraram que a técnica é promissora (R igual a 1,0000). Para o caso do filme de alumínio, o limite de detecção alcançado de 120 nm mostrou aplicabilidade para amostras reais, principalmente aquelas com interesse industrial. | |
| dc.description | BR0303987 (A) | |
| dc.description | G01N23/223 | |
| dc.description | G01N23/223 | |
| dc.description | | |
| dc.description | BR20030303987 | |
| dc.description | G01N23/223 | |
| dc.description | G01N23/223 | |
| dc.rights | aberto | |
| dc.title | Medida De Espessuras De Filmes Metálicos Espessos - Que Não Apresentam Mais Correlação Entre A Intensidade De Raios X E A Espessura - Utilizando Espectrometria De Fluorescência De Raios X De Energia Dispersiva | |
| dc.type | Patentes | |
