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Mostrando ítems 1-10 de 21
Construção de reator de plasma frio para aplicações de filmes finos
(Universidade Federal de São CarlosUFSCarPrograma de Pós-Graduação em Engenharia Elétrica - PPGEECâmpus São Carlos, 2022-03-04)
It is about the construction of a sputtering system, through the use of a cold plasma reactor, for the deposition of metallic thin films. Basically, this system works by ejecting atoms from a material (target) by the ...
Abordagem inovadora com plasma de baixa temperatura para a deposição de filmes a partir do acetilacetonato de alumínio
(Universidade Estadual Paulista (UNESP), 2016)
Abordagem inovadora com plasma de baixa temperatura para a deposição de filmes a partir do acetilacetonato de alumínio
(Universidade Estadual Paulista (Unesp), 2016-07-06)
Filmes de alumina foram depositados a partir de uma nova metodologia de deposição a plasma, utilizando o pó de acetilacetonato de alumínio (AAA) como precursor. Em trabalho prévio do grupo, foi demonstrada a viabilidade ...
Técnica híbrida de plasma para a deposição de filmes de alumina
(Universidade Estadual Paulista (Unesp), 2015-08-25)
A new plasma methodology for deposition of alumina from aluminum acetylacetonate, AAA, is proposed. In a previous study by his this group, the possibility of depositing films from the AAA, by sputtering in argon atmosphere. ...