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Modelamiento de la formación de microcavidades en silicio poroso (SP): densidad y distribución de poros
(Bogotá - Ciencias - Maestría en Ciencias - FísicaDepartamento de FísicaUniversidad Nacional de Colombia - Sede Bogotá, 2020-06-19)
En el presente trabajo se fabricaron muestras de silicio poroso (SP) sobre sustratos de c-Si tipo-p con orientación <100> y <111> y resistividad eléctrica de 1 − 5mΩ cm, a partir de la variación de los parámetros de síntesis ...