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Estudio de los mecanismos de crecimiento en función de las fases presentes y la evaluación de la microestructura en películas de TaxNy obtenidas por deposición física en fase de vapor asistida por plasma
(Manizales - Ciencias Exactas y Naturales - Maestría en Ciencias - FísicaDepartamento de Física y QuímicaUniversidad Nacional de Colombia - Sede Manizales, 2020)
In this dissertation, the study of growth mechanisms in tantalum nitride thin films was realized. Samples were sintered through plasma-enhanced vapor deposition. The survey was based on crystalline phases and microstructure. ...