Efecto de la temperatura del sustrato en los esfuerzos residuales de las películas de zno sintetizadas por rociado pirolítico

Abstract

En el presente trabajo se estudio la influencia de la temperatura del sustrato sobre los esfuerzos residuales de las películas delgadas de óxido de zinc (ZnO) crecidas sobre sustratos de vidrio (soda lime glass) a las temperaturas entre 300ºC y 500ºC. Los sustratos utilizados fueron láminas de vidrio porta-objeto y como solución precursora se empleó acetato de zinc di-hidratado [Zn (CH3CO2)2.2H2O] disuelto en metanol a 0.2 M. la presión y flujo del aire fueron fijadas a 2.2 kPa y 5 L/min, respectivamente. Los patrones de difracción de rayos X, revelaron picos de difracción típicos de la estructura hexagonal wurtzita, con un mejoramiento en la cristalinidad y tendencia a un crecimiento preferencial en la dirección del eje c con el incremento de la temperatura del sustrato. Las imágenes por microscopia electrónica de barrido (MEB), muestran un crecimiento del grano y menor rugosidad superficial conforme se incrementa la temperatura del sustrato. Las películas de ZnO obtenidas son transparentes en el rango visible (80 – 90%). Los espectros de absorbancia para las películas de ZnO revelan picos excitónicos de mayor intensidad y mejor definidos para temperaturas mayores de 300ºC. Respecto al efecto de la temperatura del sustrato sobre los esfuerzos residuales de las películas de ZnO se observó que los esfuerzos de tipo uniaxial cambiaron de compresivos a tensiles (-1.48 a 1.31 GPa) con el incremento de la temperatura del sustrato, siendo mínimos los cambios en los esfuerzos biaxiales.