Fe-Hf thin multilayered films, deposited by electran-beam, were annealed by 1h and 3h, at temperatures of 350°C and 500°C. The phases farmed by Salid State Reaction, with overall composition af Fe0,67Hf0,33 and Fe0,50Hf0,50 were analysed by Rutherford Backscattering Spectroscopy (RBS), Magnetization (VSM) and M¨pssbauer Spectroscopy (CEMS). The results reveal that the first reacted phase is an amorphous phase, with composition near to 50%at.Fe. The crystalline phase Fe2Hf was also identified in the iron-rich sample annealed at 500°C by 3h. It was shown, as already observed in others binary Fe-MT systems, that the sequence of phase formation depends, fundamentally, on the composition of the as-deposited multilayer and on the annealing temperature. A schematic diagram of Gibbs Free Energy was proposed in order to explain the experimental results.Filmes finos multicamadas de Fe-Hf, depositados pelo processo de feixe eletrônico, foram tratados termicamente por 1h e 3h, nas temperaturas de 350°C e 500°C. As fases formadas por Reação de Estado Sólido em multicamadas com composição total Fe0,67Hf0,33 e Fe0,50Hf0,50 foram analisadas por Espectroscopia de Retroespalhamento de Rutherford (RBS), Magnetização (VSM) e Espectroscopia Mössbauer (CEMS). Os resultados revelam que a primeira fase a reagir é uma fase amorfa, de composição aproximada 50%at.Fe. Também foi identificada a fase cristalina Fe2Hf na amostra rica em ferro, tratada na temperatura de 500°C por 3h. Verificou-se, como já observado para outros sistemas binários Fe-Metal-de-Transição, que a seqüência de fases formadas depende, fundamentalmente, da composição da multicamada como-depositada e da temperatura de tratamento térmico. Um diagrama esquemático de Energia Livre de Gibbs foi proposto de forma a comportar os resultados experimentais.99 f