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Instituto de Pesquisas Energéticas e Nucleares (Brasil)
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Resumos em peri??dicos
Analysis of the mean crystallite size and microstress in titanium silicide thin films
Registro en:
http://repositorio.ipen.br/handle/123456789/8798
38
https://repositorioslatinoamericanos.uchile.cl/handle/2250/8979301
Autor
MORIMOTO, N.I.
SWART, J.W.
RIELLA, H.G.
Institución
Instituto de Pesquisas Energéticas e Nucleares (Brasil)
Materias
thin films
titanium silicides
x-ray diffraction
annealing
grain size
microstructure
stresses
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