Recent Advances on Nanocomposite Resists With Design Functionality for Lithographic Microfabrication

dc.creatorMartínez, Eduardo David
dc.creatorPrado, A.
dc.creatorGonzalez, M.
dc.creatorAnguiano, S.
dc.creatorTosi, Leandro
dc.creatorSalazar Alarcón, Leonardo
dc.creatorPastoriza, Hernan
dc.date2021-04
dc.date.accessioned2023-08-31T00:26:26Z
dc.date.available2023-08-31T00:26:26Z
dc.identifierhttp://hdl.handle.net/11336/181785
dc.identifierMartínez, Eduardo David; Prado, A.; Gonzalez, M.; Anguiano, S.; Tosi, Leandro; et al.; Recent Advances on Nanocomposite Resists With Design Functionality for Lithographic Microfabrication; Frontiers Media; Frontiers in Materials; 8; 4-2021; 1-39
dc.identifier2296-8016
dc.identifierCONICET Digital
dc.identifierCONICET
dc.identifier.urihttps://repositorioslatinoamericanos.uchile.cl/handle/2250/8543427
dc.descriptionNanocomposites formed by a phase-dispersed nanomaterial and a polymeric host matrix are highly attractive for nano- and micro-fabrication. The combination of nanoscale and bulk materials aims at achieving an effective interplay between extensive and intensive physical properties. Nanofillers display size-dependent effects, paving the way for the design of tunable functional composites. The matrix, on the other hand, can facilitate or even enhance the applicability of nanomaterials by allowing their easy processing for device manufacturing. In this article, we review the field of polymer-based nanocomposites acting as resist materials, i.e. being patternable through radiation-based lithographic methods. A comprehensive explanation of the synthesis of nanofillers, their functionalization and the physicochemical concepts behind the formulation of nanocomposites resists will be given. We will consider nanocomposites containing different types of fillers, such as metallic, magnetic, ceramic, luminescent and carbon-based nanomaterials. We will outline the role of nanofillers in modifying various properties of the polymer matrix, such as the mechanical strength, the refractive index and their performance during lithography. Also, we will discuss the lithographic techniques employed for transferring 2D patterns and 3D shapes with high spatial resolution. The capabilities of nanocomposites to act as structural and functional materials in novel devices and selected applications in photonics, electronics, magnetism and bioscience will be presented. Finally, we will conclude with a discussion of the current trends in this field and perspectives for its development in the near future.
dc.descriptionFil: Martínez, Eduardo David. Consejo Nacional de Investigaciones Cientificas y Tecnicas. Oficina de Coordinacion Administrativa Ciudad Universitaria. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnologia. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnologia - Nodo Bariloche | Comision Nacional de Energia Atomica. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnologia. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnologia - Nodo Bariloche.; Argentina
dc.descriptionFil: Prado, A.. Consejo Nacional de Investigaciones Cientificas y Tecnicas. Oficina de Coordinacion Administrativa Ciudad Universitaria. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnologia. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnologia - Nodo Bariloche | Comision Nacional de Energia Atomica. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnologia. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnologia - Nodo Bariloche.; Argentina
dc.descriptionFil: Gonzalez, M.. Consejo Nacional de Investigaciones Cientificas y Tecnicas. Oficina de Coordinacion Administrativa Ciudad Universitaria. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnologia. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnologia - Nodo Bariloche | Comision Nacional de Energia Atomica. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnologia. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnologia - Nodo Bariloche.; Argentina
dc.descriptionFil: Anguiano, S.. Consejo Nacional de Investigaciones Cientificas y Tecnicas. Oficina de Coordinacion Administrativa Ciudad Universitaria. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnologia. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnologia - Nodo Bariloche | Comision Nacional de Energia Atomica. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnologia. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnologia - Nodo Bariloche.; Argentina
dc.descriptionFil: Tosi, Leandro. Consejo Nacional de Investigaciones Cientificas y Tecnicas. Oficina de Coordinacion Administrativa Ciudad Universitaria. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnologia. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnologia - Nodo Bariloche | Comision Nacional de Energia Atomica. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnologia. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnologia - Nodo Bariloche.; Argentina
dc.descriptionFil: Salazar Alarcón, Leonardo. Consejo Nacional de Investigaciones Cientificas y Tecnicas. Oficina de Coordinacion Administrativa Ciudad Universitaria. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnologia. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnologia - Nodo Bariloche | Comision Nacional de Energia Atomica. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnologia. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnologia - Nodo Bariloche.; Argentina
dc.descriptionFil: Pastoriza, Hernan. Consejo Nacional de Investigaciones Cientificas y Tecnicas. Oficina de Coordinacion Administrativa Ciudad Universitaria. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnologia. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnologia - Nodo Bariloche | Comision Nacional de Energia Atomica. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnologia. Unidad Ejecutora Instituto de Nanociencia y Nanotecnologia - Nodo Bariloche.; Argentina
dc.formatapplication/pdf
dc.formatapplication/pdf
dc.languageeng
dc.publisherFrontiers Media
dc.relationinfo:eu-repo/semantics/altIdentifier/url/https://www.frontiersin.org/articles/10.3389/fmats.2021.629792/full
dc.relationinfo:eu-repo/semantics/altIdentifier/doi/10.3389/fmats.2021.629792
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccess
dc.rightshttps://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/ar/
dc.subjectELECTRON BEAM LITHOGRAPHY
dc.subjectFUNCTIONAL DEVICES
dc.subjectMICROACTUATORS
dc.subjectNANOMATERIALS
dc.subjectNANOPARTICLES
dc.subjectNANOTECHNOLOGY
dc.subjectPHOTOLITHOGRAPHY
dc.subjectPHOTORESISTS
dc.subjecthttps://purl.org/becyt/ford/2.5
dc.subjecthttps://purl.org/becyt/ford/2
dc.titleRecent Advances on Nanocomposite Resists With Design Functionality for Lithographic Microfabrication
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/article
dc.typeinfo:ar-repo/semantics/artículo
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersion


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