dc.contributorGoncalves, Sebastian
dc.creatorPortella Filho, Luiz Ferreira
dc.date2007-06-06T17:19:15Z
dc.date2001
dc.identifierhttp://hdl.handle.net/10183/1939
dc.identifier000312459
dc.descriptionNeste trabalho, propomos uma modificação do modelo de reação-difusão (R. M. C. de Almeida et al., Physics Review B, 61, 19 (2000)) incluindo difusividade variável com o objetivo principal de predizer, ou no mínimo descrever melhor, o crescimento de oxido de Si no regime de filmes nos. Estudamos o modelo reação-difusão a coeficiente de difusão, D, fixo e D variável. Estudamos extensivamente o modelo reação-difusão com D fixo caracterizando seu comportamento geral, e resolvendo numericamente o modelo com D variável para um intervalo amplo de relações DSiO2=DSi. Ambos casos apresentam comportamento assintótico parabólico das cinéticas. Obtivemos as equações analíticas que regem o regime assintótico de tais casos. Ambos os modelos apresentam interface não abrupta. Comparações das cinéticas com o modelo linear-parabólico e com dados experimentais foram feitas, e também para as espessuras da interface. Contudo nenhum dos dois modelos de reação-difusãao, com D fixo e com D varáavel, podem explicar a região de filmes nos, que possui taxa de crescimento superior a taxa de crescimento da região assintótica. Porém, ao incluir taxa de reação variável dentro do modelo de reação-difusão com D variável, este aponta para uma solução do regime de filmes nos.
dc.formatapplication/pdf
dc.languagepor
dc.rightsOpen Access
dc.subjectSistemas de reação por difusão
dc.subjectSilício
dc.subjectOxidação
dc.subjectDifusão
dc.subjectCinética
dc.subjectFilmes finos
dc.titleReação-difusão com difusividade variável para oxidação de silício
dc.typeDissertação


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