info:eu-repo/semantics/report
Proceso de fabricación de superficies selectivas de frecuencia
Autor
VICTOR HUGO GOMEZ RIVERA
MIGUEL VELAZQUEZ DE LA ROSA BECERRA
JOEL MOLINA REYES
Resumen
El principal objetivo de este reporte técnico es obtener la receta de fabricación
de superficies selectivas de frecuencia sobre membranas de nitruro de
silicio para facilitar el proceso de fabricación a la comunidad científica o estudiantil
que desee implementarlo.
La importancia de obtener recetas del proceso de fabricación es facilitar
los datos y los pasos a seguir con condiciones especificas de fabricación en
cada etapa, esto ahorra en tiempo y recursos sobre la caracterización de cada
proceso.
En este reporte se ilustra la forma de obtener membranas de nitruro de
silicio (Si3N4) para ser utilizadas como soporte mecánico para superficies selectivas
de frecuencia, que en principio funciona como filtros dicroicos y que en
un futuro se utilizarán como absorbedores de radiación electrómagnetica para
bolómetros del tipo TES.