En la actualidad se proponen nuevos materiales, con los que se desea resolver o satisfacer ciertas necesidades de nuestro entorno, debido a sus propiedades física y químicas, el oxido de cerio está siendo ampliamente investigado [1], además de su poder redox, el cual es de gran importancia para su aplicación sensorial. El estudio de las películas delgadas como sensores de gases estan siendo ampliamente investigadas por su aplicación medioambiental e industrial, deseando así obtener una mejor manipulación electrónica. Entre las características primordiales para que la película delgada sea buena sensorialmente debe de cumplir algunos requisitos tales como estabilidad en el material, que presente homogeneidad y tamaño de grano adecuado.[2] El objetivo de este trabajo fue obtener películas delgadas de Ce (1-x) MX O2, M=In y Ru, mediante la técnica de RF-Sputtering para estudiar su morfología y el impacto que pudiera tener la impurificación de la ceria con otros metales, para aplicar estas películas como sensoras de gases.