info:eu-repo/semantics/conferencePoster
Caracterización de películas delgadas de WO3
Autor
José Carlos Jiménez Luis
Beatriz Lagunas Simón
Resumen
Resúmen
Se realizó la caracterización de películas delgadas de WO3 depositadas
sobre sustratos de Silicio, utilizando técnicas como lo son: MEB, AFM,
DRX, TEM y nanoindentación.