info:eu-repo/semantics/conferenceProceedings
“LA INGENIERÍA QUÍMICA EN EL BICENTENARIO”
Autor
LIDIA CHAVEZ CHAVEZ
EDUARDO GERARDO PEREZ TIJERINA
JOSE PASCUAL BARTOLO PEREZ
Resumen
En el presente trabajo se describen los resultados derivados de la síntesis y caracterización realizada en películas delgadas de óxido de cerio impurificadas con In y Ru. Se ha empleado el método Sol Gel para obtener las pastillas de las soluciones sólidas de estos óxidos mixtos y la técnica de Erosión Iónica por radiofrecuencia (R.F Sputtering) para el crecimiento de películas a diferentes condiciones de temperatura y tiempo de depósito. El propósito de esta investigación es estudiar las propiedades de superficie y características cristalinas de las películas obtenidas por medio de Microscopia de Fuerza atómica (AFM), Microscopia Electrónica de Barrido (SEM), Difracción de Rayos X (XRD) y perfilometría. Este análisis preliminar servirá para un estudio ulterior que permita correlacionar éstas propiedades con sus cualidades como sensor de gas.
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