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SÍNTESIS DE PELÍCULAS DELGADAS DE NIOBATO DE LITIO (LiNbO3) POR SPUTTERING SOBRE SUSTRATO DE ITO PARA LA CARACTERIZACIÓN PIEZOELÉCTRICA.
Autor
JOSE TRINIDAD HOLGUIN MOMACA
SION FEDERICO OLIVE MENDEZ
Resumen
Se utilizó el sputtering para la formación de una película delgada de niobato de litio a condiciones de temperatura ambiente, potencia de 50 y 30 watts, en una atmósfera de argon y a una presión de trabajo de 3X10-3 Torr, la cual fue sometida al difractrómetro de rayos X y al AFM para su caracterización piezoelétrica.
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