info:eu-repo/semantics/doctoralThesis
IMPLEMENTACIÓN DEL INTERFERÓMETRO DE GATES E ILUMINACIÓN DE BAJA COHERENCIA EN LA TÉCNICA DE PROYECCIÓN DE FRANJAS PARA LA EVALUACIÓN DE MICROTOPOGRAFÍA
Autor
José Sanchez
Institución
Resumen
"La investigación introduce una propuesta para la técnica de perfilometría de proyección de franjas a nivel microscópico basada en la configuración interferométrica de Gates utilizando como fuente de iluminación un diodo emisor de luz o led (también conocido por la sigla LED del inglés: light emitting diode) y una lente de gran distancia de trabajo. Se implementaron algoritmos de técnicas de demodulación de fase temporal como espacial para la demodulación de franjas, tales como la técnica de transformada de Fourier, corrimiento de fase."
Materias
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