"El presente trabajo aborda temas importantes dentro de la microscopia holográfica digital (HDM) y la metrología óptica. Uno de estos temas es el estudio y caracterización de la cantidad de ruido óptico inmerso dentro de la medición, el cual provoca un error significativo en la misma. Para disminuir este tipo de ruido, nosotros proponemos el uso de fuentes de baja coherencia: como los diodos emisores de luz (DEL o LED. Este último es el acrónimo en inglés: Light Emisor Diode) de alta potencia luminosa y la distancia de reconstrucción, la cual es una característica especial de la HDM. Las pruebas experimentales se realizaron dentro del laboratorio, cuyas condiciones ambientales fueron controladas. Muestras bien definidas y conocidas como tarjetas de resolución fueron utilizadas. Los resultados en simulaciones numéricas y experimentales validan los análisis realizados, así como la comparación con resultados de un microscopio de fuerza atómica. Es importante destacar que, se alcanzó en dichas pruebas una desviación estándar sobre una superficie plana del orden de 2.2 nm. Otro aspecto importante es la búsqueda de nuevas alternativas para obtener sistemas ópticos más compactos, insensibles a vibraciones ambientales, y capaces de proporcionar mediciones con resoluciones similares o mayores a las establecidas por las técnicas ópticas tradicionales (similares a la HDM). Uno de ellos es el uso de un objetivo interferométrico Mirau, donde los resultados obtenidos muestran la viabilidad de su uso en HDM. Una última aportación, a estos sistemas, fue el uso de doble longitud de onda en HDM. Esto nos permitió realizar mediciones sin necesidad de movimientos mecánicos, y además en una sola exposición sobre una cámara de color CCD con filtro Bayer. Teniendo con esto un sistema capaz de realizar inspecciones en tiempo real de fenómenos dinámicos. Objetos de estructuras básicas y conocidas como escalones de películas delgadas y micro lentes fueron examinadas en su topografía y espesor."