Tesis de maestría en ciencias en electrónicaEn este proyecto de investigación, se propone el crecimiento del semiconductor ZnO, utilizando la técnica de depósito de vapor químico (CVD, por sus siglas en inglés), para el desarrollo de transistores de efecto de campo, así mismo, se presenta la fabricación y puesta en marcha de un reactor CVD, diseñado y ensamblado en el centro de investigación nanoFAB de la Universidad de Sonora.Universidad de Sonora. División de Ciencias Exactas y Naturales. Departamento de Investigación en Física, 2018.