Dissertação (mestrado) - Universidade Federal de Santa Catarina, Centro de Ciências Físicas e Matemáticas. Programa de Pós-Graduação em Física.O processo de eletrodeposição de filmes de cobre a partir de um eletrólito contendo sulfatos de cobre e cobalto, além de citrato de sódio como agente complexante, foi investigado quanto ao processo de nucleação e crescimento. A evolução da rugosidade foi acompanhada por microscopia de força atômica e as imagens foram analisadas sob a ótica da teoria de invariância por escala. Diversas funções estatísticas foram comparadas, a fim de determinar a relevância ou não desse método de análise. Dentre os vários métodos investigados, o método variacional demonstrou ser o mais exato e preciso na determinação do coeficiente de Hurst. Por outro lado, o uso da função largura de interface unidimensional se mostrou adequado na determinação dos coeficientes dinâmico, de crescimento e de rugosidade. O processo de nucleação dos filmes de cobre desse sistema é progressivo para baixos valores de sobrepotencial, passando a instantâneo à medida que o valor de sobrepotencial cresce. Da mesma forma, a evolução temporal da rugosidade apresenta invariância normal, passando para anômala, quando se aumenta o valor de sobrepotencial. O coeficiente de Hurst determinado pelo método variacional é menor em filmes de nucleação progressiva, evidenciando uma superfície mais irregular, como seria de se esperar.