Tesis
Prototipo automatizado para la síntesis de películas delgadas por método de rocío pirolítico
Fecha
2016-08-15Autor
González Avila, Juan Jesús
Institución
Resumen
El presente trabajo muestra el diseño y construcción de un prototipo para automatizar el método de rocío pirolítico ultrasónico de síntesis de películas delgadas en las etapas de secuencia de activación de nebulizadores, control de temperatura, y aspersión de rocío. El encendido y selección de secuencias del nebulizador utilizando un microcontrolador, se generó un algoritmo que le permitiera modi car múltiples posibilidades de secuencia, restringidas por una activación en paralelo o en serie, activando de uno a cuatro nebulizadores conectados. Utilizando la memoria EEPROM del microntrolador, se permite guardar los datos aun después de la desconexión del sistema. El regulador de temperatura controla en un rango de 0° C a 1000° C con 2° C de precisión, se empleó un microcontrolador de la marca MICROCHIP. Este regulador tiene la característica de que se pueden almacenar en memoria EEPROM los parámetros de temperatura y tiempo de encendido, además de las constantes de control PID.