Estudo da deposição de filmes de Ti e TiN e desenvolvimento do sistema modificado triodo-magnetron-sputtering /

dc.contributorMuzart, Joel Louis Rene
dc.contributorUniversidade Federal de Santa Catarina
dc.creatorFontana, Luis Cesar
dc.date2012-10-16T23:51:14Z
dc.date2012-10-16T23:51:14Z
dc.date1997
dc.date1997
dc.date.accessioned2017-04-03T19:08:39Z
dc.date.available2017-04-03T19:08:39Z
dc.identifier139008
dc.identifierhttp://repositorio.ufsc.br/xmlui/handle/123456789/76999
dc.identifier.urihttp://repositorioslatinoamericanos.uchile.cl/handle/2250/694200
dc.descriptionTese (Doutorado) - Universidade Federal de Santa Catarina, Centro Tecnológico.
dc.formatxiii, 121f.| il., grafs.
dc.languagepor
dc.publisherFlorianópolis, SC
dc.subjectNitruração
dc.subjectTeses
dc.subjectFilmes finos
dc.subjectTeses
dc.subjectMetalizacao ionica
dc.subjectTeses
dc.subjectTitanio
dc.subjectMetalografia
dc.subjectTeses
dc.titleEstudo da deposição de filmes de Ti e TiN e desenvolvimento do sistema modificado triodo-magnetron-sputtering /
dc.typeTesis


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