En esta tesis se ha puesto en funcionamiento el equipo de alta tecnología para realizar Espectroscopía de Electrones Auger (AES) donado por la Universidad de Hamburg a la Universidad Nacional de Ingeniería. Hemos utilizado la Espectroscopia de Electrones Auger para realizar el análisis de la cuantificación química de las superficies de tres tipos de recubrimiento duros: a) multicapas de TiN/Cr-N, TiN/V-N, b) nanocompuestos de Ti-CrN, Ti-V-N y Ti-Si-N, todas crecidas sobre un sustrato de acero de alta velocidad Böhler S700, c) monocapas de Ta-N y Nb-N sobre sustrato de silicio (001). Tanto las monocapas, multicapas y los nanocompuestos fueron obtenidas mediante la técnica de pulverización catódica reactiva DC. Estos recubrimientos también fueron analizados mediante la difracción de rayos X para obtener información de la estructura y de las fases obtenidas en los recubrimientos. Así como también se realizó la medida de la dureza mediante la microindentación Vickers.In this thesis we have put into operation the equipment for Auger Electron Spectroscopy (AES) donated by the University of Hamburg to the National Engineering University. We have used the Auger Electron Spectroscopy for the analysis of chemical quantification of the surfaces of three types of hard coating: a) multilayer TiN/Cr-N, TiN/V-N, b) nanocomposite Ti-Cr-N, Ti-V-N and Ti-Si-N, all grown on a substrate of high speed steel Bohler S700, c) monolayers of Ta-N and Nb-N on the silicon substrate (001). All of the monolayers, multilayers and nanocomposites were obtained by the technique of reactive dc magnetron sputtering. These coatings were also analyzed by XRD for information on the structure and the phases obtained in the coatings. And the hardness measurement was also performed by Vickers microindentation.Tesis