Artículos de revistas
Recubrimientos de (ti,al)n sobre acero aisi 4140 por sputtering reactivo
Fecha
2007Autor
García, Danna
Piratoba, Ulises
Marino, Álvaro
Institución
Resumen
Empleando la técnica de Pulverización catódica con radiofrecuencia y magnetrón (Magnetrón Sputtering RF), se prepararon películas de (Ti,Al)N sobre sustratos de acero AISI 4140. Se utilizo un blanco formado con polvos metálicos de Ti y Al, con composición nominal 60% Ti y 40% Al (porcentaje en átomos) y una razón de presiones parciales de nitrógeno - argon, PN2/PAr de 0,1 aproximadamente; la temperatura del sustrato se vario entre 260 y 330 oC y el tiempo de deposición entre 2 y 4,5 horas para obtener películas con diferentes espesores. La composición química de las películas se determino mediante la técnica de energía dispersada de rayos X (EDX), y su topografía mediante microscopia de fuerza atómica (AFM). Igualmente se midió micro dureza, y se determino su comportamiento electroquímico mediante espectroscopia de impedancia electroquímica EIS y ensayos TAFEL. Las películas obtenidas presentaron granos globulares, uniformes y de