Thesis
Litograf a de rayado con el AFM
Autor
Meza Escamilla, Alba
Institución
Resumen
El objetivo de éste trabajo es desarrollar una técnica de litografía de rayado con un Microscopio de Fuerza Atómica (MFA) convencional el cual no incluye accesorios, ni software de litografía; es de la marca Park Scientific Instruments Autoprobe CP. Para que sirva como base para posteriormente desarrollar dispositivos electrónicos nanométricos.