Tesis
Síntesis y caracterización de películas delgadas de ZnO y arreglos tricapa ZnO/Al/ZnO para su uso como electrodo transparente.
Autor
JAVIER ELIEL MORALES MENDOZA
Institución
Resumen
Los óxidos transparentes conductores (TCO) son ampliamente utilizados hace ya varios años debido a sus interesantes propiedades, estos materiales se utilizan principalmente en forma de películas delgadas depositadas por diversas técnicas como erosión catódica (Magnetron Sputtering (MS)), deposición por láser pulsado (PLD), deposición química de vapor (CVD), Spin coating (SC), entre otras. Los TCO son principalmente utilizados como electrodos transparentes (ET) en aplicaciones fotovoltaicas y optoelectrónicas debido a sus excelentes propiedades eléctricas y ópticas, existe una gran variedad, entre los que destacan ZnO, SnO2, In2O3 , CdO, TiO2 y combinaciones entre ellos, formando óxidos binarios como ZnO-SnO2, In2O3-SnO2 y ternarios del tipo CdO-In2O3-SnO2, ZnO-SnO2-In2O3 además de diferentes arreglos bicapa (TCO/Capa metálica) y tricapa (TCO/Capa metálica/TCO) de estos materiales. El uso de estos materiales semiconductores en forma de arreglos multicapas de películas delgadas, da la posibilidad de modificar sus propiedades según la aplicación para la cual se empleen. El dopar el ZnO con diferentes elementos como Al, Ti, Ga, Cu entre otras muchas combinaciones utilizadas, otorga al material propiedades superiores que el ZnO por sí solo [1]. Se realiza esto con el fin de modificar sus propiedades como resistividad eléctrica, movilidad electrónica, densidad de portadores de carga y transmitancia óptica, entre otras. En este trabajo nos centraremos en el depósito y caracterización de películas delgadas de ZnO y arreglos tricapa ZnO/Al/ZnO depositados mediante DCp-MS. El óxido de zinc dopado con aluminio (AZO) es un material que posee propiedades similares a las del ITO (óxido de estaño dopado con indio), el cual es de los más utilizados comercialmente. Sin embargo el ITO presenta desventajas como, toxicidad, alto costo y baja estabilidad química y térmica. Los TCO presentan baja resistividad del orden de 1×10−3Ωcm o menor, alta transmitancia óptica en la región visible >80% y estando en forma de película delgada un ancho de banda prohibida de aproximadamente 3eV [2]. Los TCO son utilizados en diferentes aplicaciones, entre las que destacan: electrodos flexibles [3], electrodos transparentes [4], recubrimientos IR [5], emisión de campo [6], materiales fluorescentes [7], entre otras.
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