Tesis
Desenvolvimento de um gerador de plasma de microondas para uso em CVD e sua aplicação na sintese de filmes de carbono amorfo hidrogenado
Registro en:
(Broch.)
Autor
Miyao, Yamato
Institución
Resumen
Orientador : Edmundo da Silva Braga Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação Doutorado