Tesis
Estudo do comportamento eletrico de dispositivos semicondutores fabricados com filmes finos de a-C:H e a-C:H:N obtidos por RF-PECVD
Registro en:
(Broch.)
Autor
Pires, Rodrigo Porto
Institución
Resumen
Orientador : Edmundo da Silva Braga Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação Mestrado