Tesis
Contribuição ao estudo das propriedades dieletricas e mecanicas dos filmes finos de a-C:H, obtidos por PECVD
Registro en:
(Broch.)
Autor
Balachova, Olga Viatcheslavovna
Institución
Resumen
Orientador : Edmundo da Silva Braga Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação Doutorado