Tesis
Automação de uma linha, em escala de laboratorio, para destilação de clorosilanos utilizados em microeletronica
Registro en:
Autor
Lacerda, Carlos Roberto
Institución
Resumen
Orientadores : Rezende Gomes dos Santos, Antonio Celso Fonseca de Arruda e Amauri Garcia Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia de Campinas Mestrado