Tesis
Diseño y modelado de un microsensor de campo magnético resonante con detección piezorresistiva
Autor
Soler Balcázar, Juan Carlos
Institución
Resumen
Tesis de Maestría presentada al Centro de Investigación en Micro y Nanotecnología de la Universidad Veracruzana. Región Veracruz En esta tesis se presenta el diseño y modelado de un microsensor de campo magnético resonante
con detección piezorresitiva, basado en tecnología MEMS. Este microsensor usa una estructura de
silicio circular de 300 μm de radio interno con soportes de una longitud de 90 μm, ancho de 32 μm
y espesor de 5 μm. En la superficie superior de la estructura resonante se localiza un lazo de
aluminio por donde circulará una corriente de excitación sinusoidal. Esta estructura es excitada a su
primera frecuencia resonante, tipo flexionante, mediante la fuerza de Lorentz. Esta fuerza es
causada por la interacción de una corriente sinusoidal, con frecuencia igual a la frecuencia
resonante, y una densidad de campo magnético. Esta fuerza de Lorentz provoca una deflexión y
esfuerzos en la estructura resonante, lo cual alteran la resistencias iníciales de cuatro
piezorresistores longitudinales y transversales conectados en un puente de Wheatstone...